全自動傳片機
全自動傳片機是針對晶圓的全自動倒片、理片機；可從一個Wafer Cassette傳遞到另外一個Wafer Cassette，通過參數(shù)設(shè)定可實現(xiàn)Up Ranking、down Ranking及自定義方式傳遞，采用X、Y、Z 三軸機械走位及陶瓷手柄實現(xiàn)高精度定位，確保產(chǎn)品在傳遞過程的安全。設(shè)備可適用12寸8寸晶圓及各種標準料盒，也可訂制非標料盒，設(shè)備采用工控機控制，15寸觸摸操作人機界面，操作簡易方便。
產(chǎn)品詳情
技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品特點:
陶瓷Robot取放產(chǎn)品；
X,Y,Z三軸機械手精準定位；
支持各種半導體標準Wafer Cassette，自動Mapping掃描；
工控機控制，運行穩(wěn)定；
15寸觸摸屏顯示操作，方便簡潔；
參數(shù)可自由設(shè)定調(diào)用；
傳片方式有Up Ranking,down Ranking模式也可自定義模式；
固定式或手柄式Bar Code Reader讀取料盒條形碼；
可配置去離子裝置；
可訂制Sec Gem功能；
Uph>100片/小時（不含定位功能）。
注：圖文數(shù)據(jù)均以廠家提供為準。
